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來源: | 發布日期:2022-08-12

真空濺射91香蕉影院在线观看 是用幾十電子伏或更高動能的荷能粒子轟擊材料表麵,使其原子獲得足夠高的能量而濺出進入氣相,這種濺出的、複雜的粒子散射過程稱為濺射。真空濺射91香蕉影院在线观看就是利用濺射現象實現製取各種薄膜。

優點:膜厚可控性和重複性好;與基片的附著力強;膜層純度高質量好;可製備與靶材不同的物質膜。

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缺點:成膜速度比蒸發91香蕉影院在线观看低;基片溫度高;易受雜質氣體影響;裝置結構較複雜。

目前最常用的真空濺射91香蕉影院在线观看 技術是磁控濺射91香蕉影院在线观看技術。這種技術能增加與氣體的碰撞幾率,提高靶材的濺射速率,最終提高沉積速率。因此更適用於具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的功能性薄膜、裝飾領域、微電子領域。

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