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如何降低PVD膜層結構缺陷?
來源: | 發布日期:2021-09-29

隨著社會的發展,市場對金屬件有了更多的要求,PVD91香蕉影院在线观看行業也得到迅速發展。但是由於要製備PVD膜層的基體表麵並非完全均勻平整,而且PVD膜層的生長從初始的形核直至膜層的生長均是以一種非連續均勻、一致的方式。PVD膜層的柱狀生長機製使得在生長後期遺留了空隙,形成膜層的各種結構缺陷。因此,PVD膜層的微孔等結構缺陷的形成幾乎是不可避免的,隻能通過各種技術來降低缺陷的數量和尺寸。

PVD膜層

PVD膜層缺陷的數量以及大小取決於PVD的工藝類型、沉積狀態,尤其是基體溫度和沉積偏壓。同時,基體的表麵質量諸如表麵粗糙度、缺陷等也與表麵膜層的缺陷密不可分。PVD技術無法克服因表麵粗糙度高引起的陰影效應,從而使得製備的膜層受基體本身的影響較大,均勻性不好,致密性也很差,因此製備膜層的基體表麵必須盡可能平整、光滑。另外,摻雜原子的添加也可優化塗層的顯微組織結構,提高耐蝕性;高的沉積偏壓使得到達基體表麵的沉積原子的能量增大,導致形核條件的改變。另外高能粒子的轟擊更能使得形成的膜層更加致密,進一步消除前期膜層中形成的缺陷,從而降低PVD膜層的空隙率,提高其耐蝕性能。

消除PVD膜層表麵缺陷的另外一類技術就是沉積多層複合膜,通過複合膜層的匹配增加膜層厚度,消除通孔等結構缺陷。這一類體係的PVD膜層有金屬氮化物/金屬以及金屬氮化物複合體係等。通過工藝調整以及膜層的匹配性選擇,便能取得比單一PVD膜層體係更好的耐腐蝕性能。

【本文標簽】 PVD膜層

【責任編輯】

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