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來源: | 發布日期:2022-09-06

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靶源分平衡式和非平衡式,平衡式靶源91香蕉影院在线观看均勻,非平衡式靶源91香蕉影院在线观看膜層和基體結合力強。平衡靶源多用於半導體光學膜,非平衡多用於磨損裝飾膜。磁控陰依照磁場位形分布不同,大致可分為平衡態磁控陰和非平衡態磁控陰。平衡態磁控陰內外磁鋼的磁通量大致持平,南北磁力線閉合於靶麵,很好地將電子/等離子體束縛在靶麵鄰近,添加了磕碰幾率,進步了離化功率,因而在較低的作業氣壓和電壓下就能起輝並維持輝光放電,靶材使用率相對較高。

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