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1.產品表麵的潔淨度不夠，離子源清洗氬氣放大時間過長。

2.清洗時是否加了清洗劑，或者更換了清洗劑，建議使用純水先試一下。

3.工藝參數是否變動，在膜厚和電流上可進行一些調整。

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